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Three-dimensional curving of crystal planes in wide bandgap semiconductor wafers visualized using a laboratory X-ray diffractometer

薄脆饼 衍射仪 材料科学 半导体 化学机械平面化 位错 Crystal（编程语言） 光电子学 晶体生长 外延 各向同性 光学 结晶学 纳米技术 复合材料 抛光 扫描电子显微镜 化学 计算机科学 物理 程序设计语言 图层（电子）
作者
Yongzhao Yao,K. Satô,Yoshihiro Sugawara,Narihito Okada,Kazuyuki Tadatomo,Kohei Sasaki,Akito Kuramata,Yukari Ishikawa
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2022-01-29 卷期号：583: 126558-126558 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2022.126558
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