SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
An ion beam layer removal method of determining the residual stress in the as-fabricated TSV-Cu/TiW/SiO2/Si interface on a nanoscale
材料科学
残余应力
极限抗拉强度
压力（语言学）
复合材料
硅
通过硅通孔
图层（电子）
剪应力
聚焦离子束
冶金
离子
化学
语言学
哲学
有机化学
作者
Si Chen,
Yunfei En,
G.Y. Li,
Z.Z. Wang,
Rui Gao,
Rui Ma,
L.X. Zhang,
Yun Huang
出处
期刊：
Microelectronics Reliability
[Elsevier]
日期：2020-08-05
卷期号：112: 113826-113826
被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2020.113826
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
隐形曼青
的
应助
被
大胆初翠
采纳，获得
10
2秒前
咕咕
上传了
应助文件
7秒前
Leofar
完成签到
，获得积分
10
14秒前
科研通AI2S
上传了
应助文件
20秒前
搜集达人
的
应助
被
连安阳
采纳，获得
10
29秒前
淡淡妙竹
完成签到
，获得积分
10
39秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
46秒前
大胆初翠
发布了新的
文献求助
10
52秒前
搜集达人
上传了
应助文件
53秒前
连安阳
发布了新的
文献求助
10
58秒前
田様
的
应助
被
大胆初翠
采纳，获得
10
1分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
1分钟前
深情安青
的
应助
被
百里幻竹
采纳，获得
10
1分钟前
深情安青
上传了
应助文件
1分钟前
FashionBoy
的
应助
被
Kpai
采纳，获得
10
1分钟前
百里幻竹
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
zxcvb666
发布了新的
文献求助
80
2分钟前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3分钟前
Hillson
完成签到，获得积分
10
3分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
4分钟前
大模型
上传了
应助文件
4分钟前
Akim
上传了
应助文件
4分钟前
彭于晏
上传了
应助文件
4分钟前
英俊的铭
上传了
应助文件
4分钟前
wjw123
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
wjw123
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
小布
完成签到
，获得积分
10
4分钟前
科研通AI2S
上传了
应助文件
4分钟前
酷波er
上传了
应助文件
5分钟前
liziqi
发布了新的
文献求助
10
5分钟前
充电宝
的
应助
被
百里幻竹
采纳，获得
10
5分钟前
我是老大
的
应助
被
liziqi
采纳，获得
10
5分钟前
科目三
的
应助
被
wjw123
采纳，获得
10
6分钟前
sober
发布了新的
文献求助
10
6分钟前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7分钟前
充电宝
上传了
应助文件
7分钟前
百里幻竹
发布了新的
文献求助
10
7分钟前
orixero
上传了
应助文件
7分钟前
玉米
发布了新的
文献求助
10
7分钟前
DocChen
发布了新的
文献求助
10
7分钟前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements
2500
Востребованный временем
2500
Agaricales of New Zealand 1: Pluteaceae - Entolomataceae
1040
Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation
1000
Classics in Total Synthesis IV: New Targets, Strategies, Methods
1000
지식생태학: 생태학, 죽은 지식을 깨우다
600
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
医学
材料科学
生物
工程类
有机化学
生物化学
纳米技术
内科学
物理
化学工程
计算机科学
复合材料
基因
遗传学
物理化学
催化作用
细胞生物学
免疫学
电极
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
3460116
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
3054392
关于积分的说明
9041932
捐赠科研通
2743745
什么是DOI，文献DOI怎么找？
1505214
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明
695610
邀请新用户注册赠送积分活动
694867
今日热心研友
藤椒辣鱼
73
310
毛豆
650
cocolu
270
Cochrane
4
161
Yifan2024
200
ceeray23
5
150
qrwyqjbsd
16
40
jyy
12
70
sutharsons
1
150
嗯哼
16
SYLH
160
敬老院1号
150
小宋
7
80
小红薯7XJ9B2Q4
7
40
嘻哈hang
10
无限面包
6
40
从容的无极
80
genomed
2
30
七月流火
50
Phoenix
50
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
藤椒辣鱼
毛豆
cocolu
Cochrane
Yifan2024
ceeray23
qrwyqjbsd
jyy
sutharsons
嗯哼
SYLH
敬老院1号
小宋
小红薯7XJ9B2Q4
嘻哈hang
无限面包
从容的无极
genomed
七月流火
Phoenix
皖公网安备34019202002308
