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Mechanisms of Stress Generation in Thin Films and Coatings

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作者
А. Р. Шугуров,А. В. Панин
出处
期刊：Technical Physics [Pleiades Publishing]
日期：2020-12-01 卷期号：65 (12): 1881-1904 被引量：29
标识
DOI：10.1134/s1063784220120257
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