Aluminium nitride: review of synthesis methods

材料科学 碳热反应 原材料 氮化物 工艺工程 纳米技术 冶金 工程类 有机化学 碳化物 化学 图层(电子)
作者
Guna S Selvaduray,L. Sheet
出处
期刊:Materials Science and Technology [Informa]
卷期号:9 (6): 463-473 被引量:158
标识
DOI:10.1179/mst.1993.9.6.463
摘要

AbstractAbstractSeveral technologies have been reported for the synthesis of AlN. These are reviewed and described in detail. The processes are classified according to the principle of synthesis, and the AlN product characteristics for each method of synthesis are identified. Only two of the methods reported, direct nitridation and carbothermal reduction, are currently used industrially. Due to the requirement for higher quality AlN powders, several other methods are being developed. The level of development, the principle of synthesis, the raw materials used, the reaction products, and the powder characteristics of the synthesis methods are discussed. Where appropriate, environmental or safety concerns are identified. Process flowcharts for each of the technologies were developed on the basis of information available.MST/1794
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