Chip-less wireless electronic skins by remote epitaxial freestanding compound semiconductors

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作者
Yeongin Kim,Jun Min Suh,Ji Ho Shin,Yunpeng Liu,Han‐Wool Yeon,Kuan Qiao,Hyun Kum,Chansoo Kim,Han Eol Lee,Chanyeol Choi,Hyunseok Kim,Doyoon Lee,Jae Yong Lee,Ji Hoon Kang,Bo‐In Park,Sungsu Kang,Jihoon Kim,Sungkyu Kim,Joshua Perozek,Kejia Wang,Yongmo Park,Kumar Kishen,Lingping Kong,Tomás Palacios,Jungwon Park,Min‐Chul Park,Hyungjun Kim,Yun Seog Lee,Kyusang Lee,Sang‐Hoon Bae,Wei Kong,Jiyeon Han,Jeehwan Kim
出处
期刊:Science [American Association for the Advancement of Science (AAAS)]
卷期号:377 (6608): 859-864 被引量:139
标识
DOI:10.1126/science.abn7325
摘要

Recent advances in flexible and stretchable electronics have led to a surge of electronic skin (e-skin)-based health monitoring platforms. Conventional wireless e-skins rely on rigid integrated circuit chips that compromise the overall flexibility and consume considerable power. Chip-less wireless e-skins based on inductor-capacitor resonators are limited to mechanical sensors with low sensitivities. We report a chip-less wireless e-skin based on surface acoustic wave sensors made of freestanding ultrathin single-crystalline piezoelectric gallium nitride membranes. Surface acoustic wave-based e-skin offers highly sensitive, low-power, and long-term sensing of strain, ultraviolet light, and ion concentrations in sweat. We demonstrate weeklong monitoring of pulse. These results present routes to inexpensive and versatile low-power, high-sensitivity platforms for wireless health monitoring devices.
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