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Design and Implementation of a Novel Dual-Gap CMOS-MEMS CMUT Array

CMOS芯片 电容式微机械超声换能器 微电子机械系统 对偶(语法数字) 电子工程 计算机科学 电气工程 工程类 材料科学 光电子学 电容感应 文学类 艺术
作者
Hung‐Yu Chen,Clark T.‐C. Nguyen,Sheng‐Shian Li
标识
DOI:10.1109/iedm50854.2024.10873576
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