Simulation of slurry residence time during chemical-mechanical polishing using 3-D computational fluid dynamics

泥浆 停留时间(流体动力学) 抛光 计算流体力学 停留时间分布 化学机械平面化 机械 材料科学 机械工程 工程类 物理 复合材料 岩土工程 流量(数学)
作者
Kuang C. Lin,Chuan-Chieh Liao
出处
期刊:Chemical engineering research & design [Elsevier]
标识
DOI:10.1016/j.cherd.2023.01.025
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