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Virtual Metrology for Multistage Processes Using Variational Inference Gaussian Mixture Model and Extreme Learning Machine

计量学 推论 混合模型 高斯过程 计算机科学 机器学习 人工智能 高斯分布 工程类 数学 统计 物理 量子力学
作者
Tianhong Pan,Lu Liu,Menghu Li
出处
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tsm.2024.3392898

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