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Position-Dependent Motion Feedforward via Gaussian Processes: Applied to Snap and Force Ripple in Semiconductor Equipment

涟漪 前馈 职位（财务） 半导体 控制理论（社会学） 运动（物理） 高斯分布 物理 机械 经典力学 计算机科学 工程类 光电子学 控制工程 量子力学 人工智能 控制（管理） 财务 电压 经济
作者
Maurice Poot,Max van Haren,Dragan Kostić,Jim Portegies,Tom Oomen
出处
期刊：IEEE Transactions on Control Systems and Technology [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-15
标识
DOI：10.1109/tcst.2024.3385632
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