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Recent progress on metasurfaces: applications and fabrication

制作 纳米技术 计算机科学 材料科学 系统工程 工程类 医学 病理 替代医学
作者
Gwanho Yoon,Takuo Tanaka,Thomas Zentgraf,Junsuk Rho
出处
期刊:Journal of Physics D [Institute of Physics]
卷期号:54 (38): 383002-383002 被引量:54
标识
DOI:10.1088/1361-6463/ac0faa
摘要

Metasurfaces are two-dimensional arrays of subwavelength optical antennas and have possible applications of next-generation optical components such as ultrathin lenses, high-resolution holograms, and optical cloaks. The remaining challenges in the field of metasurfaces involve the development of methods to manufacture those tiny nanostructures on a large scale. There have been many attempts to overcome the limitations of electron beam lithography which is a conventional method to fabricate metasurfaces. This review provides and discusses recent progress on metasurfaces with priority given to their applications and scalable manufacturing methods such as nanoimprint lithography, deep-UV lithography, colloidal lithography, and direct laser writing. These nanofabrication techniques will contribute to the commercialization of metasurfaces.
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