NUMERICAL SIMULATION OF THE PECVD REACTOR FOR THE SOLAR CELLS AND THE GREEN ENERGY

等离子体增强化学气相沉积 计算机模拟 太阳能 能量(信号处理) 计算机科学 材料科学 物理 等离子体 环境科学 核工程 机械 工程类 电气工程 核物理学 量子力学
作者
Mikhail Lavrentiev,Alexey Snytnikov
出处
期刊:International Multidisciplinary Scientific GeoConference SGEM ..
标识
DOI:10.5593/sgem2020v/6.2/s07.04
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