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Synergistic effect of LABSA/JFCE combined surfactant system on the removal of particles on copper wafer surface

铜肺表面活性物质吸附化学机械平面化扫描电子显微镜化学工程粒子（生态学）复合数薄脆饼化学材料科学粒径脂肪醇抛光复合材料冶金有机化学纳米技术物理化学工程类地质学海洋学

作者

Da Yin,Siyu Tian,Nannan Zhang,Qi Wang,Xiaoqin Sun,Mengrui Liu,Shihao Zhang,Baimei Tan

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier]
日期：2020-09-18 卷期号：257: 123841-123841 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2020.123841

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