Closed-loop MOEMS accelerometer

加速度计 光学 验证质量 薄脆饼 干涉测量 加速度 材料科学 电压 绝缘体上的硅 表面微加工 体微机械加工 灵敏度(控制系统) 位置传感器 物理 光电子学 声学 电子工程 角位移 工程类 制作 病理 经典力学 医学 量子力学 替代医学
作者
Majid Taghavi,Abolfazl Abedi,Gholam-Mohammad Parsanasab,Mojtaba Rahimi,Mohammad Noori,HAMZEH NOOROLLAHI,Hamid Latifi
出处
期刊:Optics Express [The Optical Society]
卷期号:30 (12): 20159-20159 被引量:2
标识
DOI:10.1364/oe.455772
摘要

In this paper, a closed-loop micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) accelerometer based on the Fabry-Pérot (FP) interferometer is presented. The FP cavity is formed between the end of a cleaved single-mode optical fiber and the cross-section of a proof mass (PM) which is suspended by four U-shaped springs. The applied acceleration tends to move the PM in the opposite direction. The arrays of fixed and movable comb fingers produce an electrostatic force which keeps the PM in its resting position. The voltage that can provide this electrostatic force is considered as the output of the sensor. Using a closed-loop detection method it is possible to increase the measurement range without losing the resolution. The proposed sensor is fabricated on a silicon-on-insulator wafer using the bulk micromachining method. The results of the sensor characterization show that the accelerometer has a linear response in the range of ±5 g. In the closed-loop mode, the sensitivity and bias instability of the sensor are 1.16 V/g and 40 µg, respectively.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
脑洞疼应助李洪晔采纳,获得10
1秒前
隐形曼青应助真知灼见采纳,获得10
1秒前
2秒前
小左发布了新的文献求助10
3秒前
sakurai发布了新的文献求助30
3秒前
星辰大海应助揽星色采纳,获得10
4秒前
4秒前
媛媛子完成签到,获得积分10
6秒前
斯文败类应助王富贵采纳,获得10
7秒前
8秒前
yiyi完成签到,获得积分10
9秒前
tingting发布了新的文献求助10
9秒前
clxxf发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
10秒前
852应助月亮是甜的采纳,获得10
11秒前
蔡琪完成签到,获得积分10
12秒前
13秒前
酷波er应助卡皮巴拉采纳,获得10
13秒前
李洪晔发布了新的文献求助10
13秒前
橙子fy16_发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
16秒前
jdio完成签到,获得积分10
16秒前
17秒前
调味罐完成签到 ,获得积分10
18秒前
~~发布了新的文献求助10
19秒前
小蘑菇应助橙子fy16_采纳,获得10
19秒前
龟龟完成签到 ,获得积分10
20秒前
三金发布了新的文献求助10
20秒前
Math123关注了科研通微信公众号
21秒前
22秒前
23秒前
23秒前
李健应助花凉采纳,获得10
25秒前
25秒前
小星星668完成签到,获得积分10
25秒前
JJ田叶发布了新的文献求助10
26秒前
26秒前
Singularity举报求助违规成功
26秒前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2500
Востребованный временем 2500
Aspects of Babylonian celestial divination : the lunar eclipse tablets of enuma anu enlil 1500
Agaricales of New Zealand 1: Pluteaceae - Entolomataceae 1040
Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation 1000
Classics in Total Synthesis IV: New Targets, Strategies, Methods 1000
지식생태학: 생태학, 죽은 지식을 깨우다 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 材料科学 生物 工程类 有机化学 生物化学 纳米技术 内科学 物理 化学工程 计算机科学 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 电极
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3459147
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3053698
关于积分的说明 9037829
捐赠科研通 2742963
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1504592
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 695334
邀请新用户注册赠送积分活动 694644