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A kinetic study of ZnO atomic layer deposition: Effects of surface hydroxyl concentration and steric hindrance

位阻效应 吸附 化学 原子层沉积 解吸 反应速率常数 二乙基锌 分子 大气温度范围 物理化学 光化学 动力学 有机化学 图层（电子） 催化作用 热力学 对映选择合成 物理 量子力学
作者
Sungjoon Kim,Sun‐Young Lee,So‐Yeon Ham,Donghyun Ko,Seokhee Shin,Zhenyu Jin,Yo‐Sep Min
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2018-11-09 卷期号：469: 804-810 被引量：43
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2018.11.064
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