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COCOS (Corona Oxide Characterization of Semiconductor) Metrology: Physical Principles and Applications

计量学 表征（材料科学） 半导体 日冕（行星地质学） 材料科学 纳米技术 光电子学 工程物理 工程类 电气工程 物理 光学 天体生物学 维纳斯
作者
Marshall Wilson,J. Łagowski,Alexandre Savtchouk,L. Jastrzębski,John D’Amico
出处
期刊：ASTM International eBooks [ASTM International]
日期：2008-04-18 卷期号：: 74-17 被引量：8
标识
DOI：10.1520/stp13485s
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