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Fabrication of a high uniformity Mo/Si multilayer with a diameter of 120 mm using magnetron sputtering technology

制作 材料科学 溅射沉积 腔磁控管 光电子学 溅射 高功率脉冲磁控溅射 光学 纳米技术 薄膜 物理 医学 病理 替代医学
作者
潘磊 Pan Lei,王晓强 Wang Xiaoqiang,张众 Zhang Zhong,朱京涛 Zhu Jingtao,王占山 Wang Zhangshan,李乙洲 Li Yizhou,李宏杰 Li Hongjie,王道荣 Wang Daorong,赵巨岩 Zhao Juyan,陆伟 Lu Wei
出处
期刊：High Power Laser and Particle Beams [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2010-01-01 卷期号：22 (7): 1535-1538 被引量：3
标识
DOI：10.3788/hplpb20102207.1535
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