Preparation and characterization of slurry for CMP

泥浆 表征(材料科学) 化学机械平面化 材料科学 薄脆饼 磨料 刮擦 冶金 粒子(生态学) 工艺工程 复合材料 纳米技术 工程类 抛光 海洋学 地质学
作者
Kangchun Lee,Jihoon Seo,Ungyu Paik
出处
期刊:Elsevier eBooks [Elsevier]
卷期号:: 323-354 被引量:7
标识
DOI:10.1016/b978-0-12-821791-7.00005-8
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