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Particles as Transport Carriers in CMP Slurries

泥浆 材料科学 气相二氧化硅 化学机械平面化 化学工程 纳米颗粒 磨损（机械） 粒子（生态学） 表面改性 纳米技术 复合材料 图层（电子） 海洋学 地质学 工程类
作者
Daniela White,John C. Parker,Shuyou Li,Vinayak P. Dravid
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2007-01-01 卷期号：991 被引量：1
标识
DOI：10.1557/proc-0991-c05-05
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