Numerical and experimental investigation on mc-Silicon growth process by varying the Si3N4 coating thickness of crucible

坩埚(大地测量学) 薄脆饼 材料科学 碳纤维 杂质 涂层 一氧化硅 极限氧浓度 碳化硅 冶金 定向凝固 氧气 氧化物 矿物学 复合材料 光电子学 化学 微观结构 计算化学 有机化学 合金 复合数
作者
G. Anbu,M. Srinivasan Supervisor,G. Aravindan,M. Avinash Kumar,P. Ramasamy,Niefeng Sun,Tongnian Sun,Zaoyang Li
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier]
卷期号:586: 126608-126608 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2022.126608
摘要

In the present work, the bottom-opening directional solidification technique was adopted to grow multi-crystalline silicon ingot. By varying the thickness of Si3N4 coating on the quartz crucible, the variation in carbon and oxygen concentration in the ingot has been analyzed. The axis-symmetric time-dependent 2D modeling has been done to analyze heat and mass transfer within the directional solidification furnace. We have analyzed the concentration of carbon monoxide, silicon oxide, silicon carbide, carbon and oxygen in the grown mc-Si ingots by varying the Si3N4 thickness. The oxygen and carbon impurities concentration are higher for the Si3N4 coating thickness of 50 μm to 150 μm and lower for 200 μm. The minority carrier lifetimes of the top, middle and bottom wafers have been analysied. The results show that the middle wafer has higher minority carrier lifetime compared to top and bottom wafers.
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