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A Low-Cost Flexible Capacitive Pressure Sensor for Health Detection

电容感应 压力传感器 电容 灵敏度(控制系统) 电光传感器 重复性 材料科学 动态范围 可穿戴计算机 电子工程 信号(编程语言) 电气工程 计算机科学 工程类 电极 嵌入式系统 机械工程 物理化学 化学 色谱法 程序设计语言
作者
Yu Zeng,Yafei Qin,Youpeng Yang,Xinyu Lu
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:22 (8): 7665-7673 被引量:22
标识
DOI:10.1109/jsen.2022.3158354
摘要

In this work, we develop a flexible capacitive pressure sensor with simple structure, low cost, wide operating range, excel repeatability and high sensitivity. The sensor greatly reduces cost while maintaining performance by using a simple method of preparing the dielectric layer and inexpensive chemical materials. The sensor has a excel dynamic response (80ms) and recovery (55ms) and combines high sensitivity (0.3199kPa−1, < 10kPa) with a wide operating range (0.1-65 kPa). It is capable of stable operation for 1400 cycles. In addition, the capacitive pressure sensor has a large signal variation (4.1033nF/kPa), and the capacitance variation can be recognized and processed by a simple measurement circuit. Later experiments and the development of a wireless communication device have also demonstrated the great potential of this flexible capacitive pressure sensor for human detection and biomedical applications. Overall, this sensor is a promising low-cost wearable pressure sensor.
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