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P-type nickel oxide deposited by reactive hollow cathode gas flow sputtering for the potential usage in thin-film transistors

薄膜材料科学溅射溅射沉积光电子学阴极薄膜晶体管脉冲激光沉积镍分析化学（期刊）图层（电子）纳米技术化学冶金物理化学色谱法

作者

Bertwin Bilgrim Otto Seibertz,Bernd Szyszka

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2023-05-17 卷期号：778: 139887-139887 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2023.139887

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