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Controlled corrosion behaviors of copper in oxidizer solutions for chemical mechanical polishing: Influence of the decomposition products

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作者
Pengfei Chang,Zisheng Huang,Yulong Chen,Huiqin Ling,Yunwen Wu,Ming Li,Tao Hang
出处
期刊：Corrosion Science [Elsevier BV]
日期：2024-08-06 卷期号：238: 112352-112352
标识
DOI：10.1016/j.corsci.2024.112352
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