Performance Improvement by Blanket Boron Implant in the Sigma-Shaped Trench Before the Embedded SiGe Source/Drain Formation for 28-nm PMOSFET

沟槽 材料科学 毯子 光电子学 电容 西格玛 MOSFET 噪音(视频) 电气工程 电子工程 纳米技术 工程类 计算机科学 物理 复合材料 电压 晶体管 电极 图层(电子) 核物理学 人工智能 图像(数学) 量子力学
作者
Zhonghua Li,Run-Ling Li,Yu-Long Jiang,Yanwei Zhang,Yongfeng Cao,Xuejiao Wang
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:41 (6): 796-799 被引量:1
标识
DOI:10.1109/led.2020.2985740
摘要

The blanket boron implant (BBI) in the sigma-shaped trench before the embedded SiGe (eSiGe) source/drain (S/D) formation for 28-nm PMOSFET is proposed in this letter. It is demonstrated that the BBI can significantly reduce the S/D junction capacitance with little influence on On/Off characteristic. In addition, the 1/f noise is also effectively lowered.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
mark707发布了新的文献求助30
2秒前
大贝发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
Hhhh完成签到 ,获得积分10
3秒前
小木子发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
lighting应助复杂向彤采纳,获得10
6秒前
科研通AI2S应助细草微风岸采纳,获得10
6秒前
cg发布了新的文献求助10
7秒前
msd完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
大贝完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
听爽了回复666完成签到,获得积分10
8秒前
mark707完成签到,获得积分10
9秒前
畅快八宝粥完成签到,获得积分10
10秒前
打败他们发布了新的文献求助10
10秒前
orixero应助xh96采纳,获得10
10秒前
10秒前
董咚咚完成签到,获得积分10
10秒前
sss发布了新的文献求助10
12秒前
烟花应助小木子采纳,获得10
13秒前
13秒前
MaYue完成签到,获得积分10
14秒前
学术小垃圾完成签到,获得积分10
15秒前
小二郎应助suhua采纳,获得20
15秒前
周游完成签到,获得积分10
17秒前
17秒前
17秒前
热爱科研的小康完成签到 ,获得积分10
18秒前
Kristin应助sss采纳,获得10
18秒前
19秒前
周周完成签到 ,获得积分10
20秒前
20秒前
Nico发布了新的文献求助10
21秒前
王侯发布了新的文献求助10
21秒前
22秒前
22秒前
温暖静柏发布了新的文献求助10
23秒前
高分求助中
Evolution 10000
ISSN 2159-8274 EISSN 2159-8290 1000
Becoming: An Introduction to Jung's Concept of Individuation 600
Ore genesis in the Zambian Copperbelt with particular reference to the northern sector of the Chambishi basin 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3163395
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2814263
关于积分的说明 7904141
捐赠科研通 2473792
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1317118
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 631625
版权声明 602187