Catalytic Chemical Vapor Deposition : Technology and Applications of Cat-CVD

化学气相沉积 催化作用 燃烧化学气相沉积 材料科学 纳米技术 化学工程 化学 有机化学 薄膜 工程类 碳膜
作者
Hideki Matsumura,Hironobu Umemoto,Karen K. Gleason,R.E.I. Schropp

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