Influence of pulse poling on the piezoelectric property of Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3 thin films

极化 压电 材料科学 薄膜 微电子机械系统 脉搏(音乐) 复合材料 流离失所(心理学) 光电子学 纳米技术 电压 铁电性 电介质 电气工程 工程类 心理治疗师 心理学
作者
Takeshi Kobayashi,Yasuhiro Suzuki,Natsumi Makimoto,Hiroshi Funakubo,Ryutaro Maeda
出处
期刊:AIP Advances [American Institute of Physics]
卷期号:4 (11) 被引量:18
标识
DOI:10.1063/1.4901912
摘要

We have investigated the influence of pulse poling on the piezoelectric property of Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3 (PZT) thin films. 1.9-μm-thick PZT thin films were deposited by sol-gel method and fabricated into microelectromechanical systems (MEMS) based piezoelectric microcantilevers. 1 kHz of unipolar or bipolar triangle pulse wave between 30-100 V was applied to the PZT thin films. The effective piezoelectric constant d31, under small signal actuation at 1-3 Vpp, was estimated from the tip displacement of the piezoelectric microcantilevers. The highest piezoelectric constant |d31| as high as 105 pm/V has been obtained by downward unipolar pulse poling at 100 V.
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