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Polycrystalline Si films formed by Al-induced crystallization (AIC) with and without Al oxides at Al/a-Si interface

结晶材料科学退火（玻璃）氧化物微晶硅化学工程多晶硅薄膜图层（电子）矿物学复合材料冶金纳米技术化学薄膜晶体管工程类

作者

Hyeongnam Kim,Daewon Kim,Gyuyul Lee,Dongseop Kim,Soo Hong Lee

出处

期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier]
日期：2002-08-26 卷期号：74 (1-4): 323-329 被引量：50

标识

DOI：10.1016/s0927-0248(02)00091-0

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