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Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review

溅射沉积 薄膜 材料科学 制作 沉积（地质） 溅射 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 纳米技术 适应性 工程物理 工艺工程 工程类 生物 替代医学 古生物学 病理 沉积物 医学 生态学
作者
Jie Li,Guang-Kun Ren,Jiahui Chen,X. Chen,Wenjie Wu,Yinke Liu,Xiaohong Chen,Jiangfeng Song,Yuanhua Lin,Yan Shi
出处
期刊：JOM [Springer Nature]
日期：2022-04-21 卷期号：74 (8): 3069-3081 被引量：21
标识
DOI：10.1007/s11837-022-05294-0
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