Improving Device Characteristics of Dual-Gate IGZO Thin-Film Transistors with Ar–O2 Mixed Plasma Treatment and Rapid Thermal Annealing

薄膜晶体管 材料科学 光电子学 退火(玻璃) 等离子体 热的 对偶(语法数字) 晶体管 纳米技术 电气工程 电压 复合材料 气象学 文学类 艺术 物理 工程类 图层(电子) 量子力学
作者
Wei‐Sheng Liu,Chih‐Hao Hsu,Yu Jiang,Yi-Chun Lai,Hsing‐Chun Kuo
出处
期刊:Membranes [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:12 (1): 49-49 被引量:49
标识
DOI:10.3390/membranes12010049
摘要

, respectively. Long-term device stability reliability tests of the DG IGZO TFTs revealed that the threshold voltage was highly stable.
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