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Metal Containing Link Formed in Amorphous Silicon Metal-To-Metal Antifuse

材料科学 互连 电子线路 非晶硅 金属 硅 光电子学 电子工程 电气工程 冶金 计算机科学 晶体硅 工程类 计算机网络
作者
Frank Hawley,F. Issaq,Jeewika Ranaweera,R. Lambertson
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2003-01-01 卷期号：762 被引量：4
标识
DOI：10.1557/proc-762-a16.7
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