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Atomic layer deposition of tungsten film from WF6/B2H6: Nucleation layer for advanced semiconductor devices

钨 图层（电子） 原子层沉积 材料科学 沉积（地质） 成核 半导体 纳米技术 光电子学 冶金 化学 地质学 古生物学 有机化学 沉积物
作者
Mengsu Yang,Hua Chung,Alex Yoon,Hongbin Fang,Amy Zhang,Cheryl Knepfler,Robert L. Jackson,Jeong Soo Byun,A. Mak,M. Eizenberg,Xi Ming,M.H. Kori,A. K. Sinha
链接
edu.cn
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