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Rapid-Thermal-Annealing-Induced Passivation Degradation and Recovery of Polysilicon Passivated Contact with Czochralski and Cast Multicrystalline Silicon Substrates

材料科学 硅 钝化 退火（玻璃） 光电子学 薄脆饼
作者
Mengmeng Feng,Yuheng Zeng,Zhenhai Yang,Mingdun Liao,Zheng Jingming,Yuyan Zhi,Yiran Lin,Linna Lu,Huanhuan Chen,Jie Yang,Xinyu Zhang,Hao Jin,Hongying Hou,Baojie Yan,Jichun Ye
出处
期刊：Physica Status Solidi (a) 日期：2021-09-07 卷期号：218 (21): 2100344-
标识
DOI：10.1002/pssa.202100344
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