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Atomic Layer Deposition and Thermal Transformations of Aluminum-Vanadium Oxide Thin Films

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作者
А. И. Абдулагатов,A. M. Maksumova,Д. К. Палчаев,М. Х. Рабаданов,Ilmutdin M. Abdulagatov
出处
期刊：Russian Journal of General Chemistry [Springer Nature]
日期：2022-08-01 卷期号：92 (8): 1498-1510 被引量：4
标识
DOI：10.1134/s1070363222080187
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