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Design and simulation of a wide-range variable MEMS capacitor using electrostatic and piezoelectric actuators

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作者

Behzad Sotoudeh,Saeid Afrang,Salar Ghasemi,Omid Reza Afrang

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2023-07-01 卷期号：29 (7): 1039-1051 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s00542-023-05497-8

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