Design and simulation of a wide-range variable MEMS capacitor using electrostatic and piezoelectric actuators

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作者
Behzad Sotoudeh,Saeid Afrang,Salar Ghasemi,Omid Reza Afrang
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:29 (7): 1039-1051 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s00542-023-05497-8
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