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Homo- and hetero-epitaxial growth of β-gallium oxide via GaCl3-O2-N2 system

外延 镓 分压 卤化物 气相 化学 相（物质） 氧化物 氯 分析化学（期刊） 氧化镓 材料科学 结晶学 无机化学 氧气 有机化学 图层（电子） 物理 热力学
作者
Kentaro Ema,Kohei Sasaki,Akito Kuramata,Hisashi Murakami
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2021-03-29 卷期号：564: 126129-126129 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2021.126129
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