已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

The effect of an oxygen plasma exposure on the reliability of a Ti/TiN contact metallization

弹性后坐力检测 材料科学 氧气 接触电阻 等离子体 分析化学(期刊) 冶金 复合材料 化学 薄膜 纳米技术 图层(电子) 有机化学 物理 量子力学 色谱法
作者
L. Ouellet,Yves Tremblay,G. Gagnon,Mario Caron,J. F. Currie,S. C. Gujrathi,M. Biberger,R. Reynolds
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:79 (8): 4438-4443 被引量:4
标识
DOI:10.1063/1.361753
摘要

This article demonstrates that the exposure of a TiN barrier to an ex situ oxygen plasma results in a more stable TiN/AlSiCu interface up to temperatures of 600 °C as shown by the time-of-flight elastic recoil detection measurements. A quaternary phase diagram of the Al–Ti–O–N system was calculated in the range of temperatures between 450 and 550 °C and suggests that the stabilization of the TiN/AlSiCu interface is possible since oxidized TiN reacts with Al to form AlN, TiAl3 and Al2O3 at the interface. A Ti/TiN/(oxygen plasma exposure)/AlSiCu/TiN contact metallization in 1.2-μm-diam and 1.4-μm-deep straight wall contacts to 0.2-μm-deep N+ and P+ diffusions, to gate polysilicon as well as to capacitor polysilicon shows stable electrical results even after a [(450 °C, 60 min)+(500 °C, 60 min)+(550 °C, 60 min)] combined thermal stress.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
winkyyang完成签到 ,获得积分10
2秒前
彭仲康完成签到 ,获得积分10
2秒前
shame完成签到 ,获得积分10
3秒前
江竹兰完成签到,获得积分10
6秒前
7秒前
繁笙完成签到 ,获得积分10
11秒前
随机子应助wu采纳,获得10
12秒前
NexusExplorer应助particularc采纳,获得10
12秒前
科研通AI2S应助自行者采纳,获得10
12秒前
zzy发布了新的文献求助10
13秒前
机智的皮皮虾完成签到 ,获得积分10
14秒前
魔幻安南完成签到 ,获得积分10
18秒前
深情安青应助zzy采纳,获得10
18秒前
奋斗的绝悟完成签到,获得积分10
21秒前
22秒前
害羞龙猫完成签到 ,获得积分10
23秒前
bukeshuo完成签到,获得积分10
23秒前
大画家完成签到 ,获得积分10
27秒前
27秒前
particularc发布了新的文献求助10
28秒前
小蘑菇应助bukeshuo采纳,获得10
28秒前
particularc完成签到,获得积分10
33秒前
34秒前
来找文献的完成签到,获得积分10
40秒前
Lucas应助ysl采纳,获得10
42秒前
42秒前
42秒前
和谐板栗完成签到 ,获得积分10
43秒前
nkuwangkai完成签到,获得积分10
44秒前
EE完成签到 ,获得积分10
44秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
47秒前
思源应助科研通管家采纳,获得10
47秒前
49秒前
52秒前
黑Q发布了新的文献求助10
54秒前
55秒前
简单的尔风完成签到 ,获得积分10
55秒前
56秒前
ysl发布了新的文献求助10
57秒前
58秒前
高分求助中
Becoming: An Introduction to Jung's Concept of Individuation 600
Ore genesis in the Zambian Copperbelt with particular reference to the northern sector of the Chambishi basin 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 500
Die Gottesanbeterin: Mantis religiosa: 656 400
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3164729
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2815800
关于积分的说明 7910264
捐赠科研通 2475362
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1318117
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 632005
版权声明 602282