Acid-amplifying polymers: synthesis, characterization, and application to environmentally stable chemical amplification positive (ESCAP) resists
抵抗
光敏性
聚合物
化学
扩散
光化学
材料科学
有机化学
光电子学
图层（电子）
热力学
物理
作者
Koji Arimitsu,Masaki Yonekura,Masahiro Furutani
出处
期刊：RSC Advances [The Royal Society of Chemistry] 日期：2015-01-01卷期号：5 (98): 80311-80317被引量：8
标识
DOI：10.1039/c5ra15423e
摘要
Polymers bearing acid-amplifying units were designed to suppress the excess diffusion of acid species, evaluated for their photosensitivity with photoacid generators, and applied for positive-working ESCAP resists.
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