Acid-amplifying polymers: synthesis, characterization, and application to environmentally stable chemical amplification positive (ESCAP) resists

抵抗 光敏性 聚合物 化学 扩散 光化学 材料科学 有机化学 光电子学 图层(电子) 热力学 物理
作者
Koji Arimitsu,Masaki Yonekura,Masahiro Furutani
出处
期刊:RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
卷期号:5 (98): 80311-80317 被引量:8
标识
DOI:10.1039/c5ra15423e
摘要

Polymers bearing acid-amplifying units were designed to suppress the excess diffusion of acid species, evaluated for their photosensitivity with photoacid generators, and applied for positive-working ESCAP resists.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
科研通AI5应助hihao采纳,获得10
刚刚
ws完成签到,获得积分10
刚刚
量子星尘发布了新的文献求助10
1秒前
orixero应助正直的西牛采纳,获得10
2秒前
orixero应助时髦的墩墩桃采纳,获得10
2秒前
swy发布了新的文献求助10
2秒前
科研废物发布了新的文献求助10
3秒前
hhhbbb发布了新的文献求助20
4秒前
5秒前
ws发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
宋小七完成签到,获得积分10
6秒前
Drtaoao发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
俏皮慕凝发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
领导范儿应助悦耳的听双采纳,获得10
6秒前
lxy完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
平淡的沛白完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
桃源theshy完成签到,获得积分20
9秒前
9秒前
传奇3应助Kgron采纳,获得10
9秒前
十二发布了新的文献求助10
9秒前
hihao完成签到,获得积分10
9秒前
科研通AI5应助ggggg采纳,获得10
9秒前
吴哔哔完成签到,获得积分10
10秒前
11秒前
科研通AI5应助橙子采纳,获得10
11秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
11秒前
不懈奋进应助MOLLY采纳,获得30
11秒前
万能图书馆应助孟子豪采纳,获得10
11秒前
hihao发布了新的文献求助10
12秒前
bbbbfffff完成签到,获得积分10
12秒前
体贴的紫槐完成签到,获得积分10
12秒前
Twinkle发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
不想起昵称完成签到 ,获得积分10
14秒前
悦耳的听双完成签到,获得积分20
15秒前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2700
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 1000
Statistical Methods for the Social Sciences, Global Edition, 6th edition 600
こんなに痛いのにどうして「なんでもない」と医者にいわれてしまうのでしょうか 510
Walter Gilbert: Selected Works 500
An Annotated Checklist of Dinosaur Species by Continent 500
岡本唐貴自伝的回想画集 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3660003
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3221343
关于积分的说明 9740065
捐赠科研通 2930748
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1604601
邀请新用户注册赠送积分活动 757316
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 734384