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Synthesis and properties of a series of sulfonate ester photoacid generators

磺酸盐 光刻胶 化学 高分子化学 材料科学 有机化学 钠 图层（电子）
作者
Qixin Sun,Baicheng Feng,Zhendong Sun,R. S. H. LIU,Hongjiao Ding,Yan Jin
出处
期刊：Reaction Chemistry and Engineering [The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-11-24 卷期号：9 (3): 630-641 被引量：3
标识
DOI：10.1039/d3re00511a
摘要
A total of six sulfonate polymeric nonionic photoacid generators (PAGs) have been synthesised and subjected to comprehensive characterization for their application in photoresist materials.
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