MEMS Design Process Based Simulation and Analysis of a Hypothetical Sensor Design with Electromechanics Interface

机电学 计算机科学 微电子机械系统 接口(物质) 过程(计算) 工程制图 模拟 机械工程 并行计算 程序设计语言 工程类 材料科学 光电子学 最大气泡压力法 气泡
作者
K. Sathish,C. V. Ravikumar,Chunhua Su
出处
期刊:Lecture Notes in Computer Science 卷期号:: 221-238
标识
DOI:10.1007/978-981-97-8546-9_13
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