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Nanostructure Fabrication by Area Selective Deposition: A Brief Review

制作 纳米技术 沉积(地质) 材料科学 纳米结构 医学 地质学 沉积物 病理 古生物学 替代医学
作者
Tzu‐Ling Liu,Stacey F. Bent
出处
期刊:Materials horizons [The Royal Society of Chemistry]
被引量:1
标识
DOI:10.1039/d4mh01472c
摘要

In recent years, area-selective deposition (ASD) processes have attracted increasing interest in both academia and industry due to their bottom-up nature, which can simplify current fabrication processes with improved process...
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