Modeling, simulation and experimental validation of fatigue behavior of thin-film titanium membranes

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作者
Nireekshan Kumar Sodavaram,Daniel McCormick,Fakhrul Alam,Johan Potgieter,David Budgett,Khalid Mahmood Arif
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:25 (9): 3489-3501 被引量:2
标识
DOI:10.1007/s00542-018-4230-6
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