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物理
古生物学
作者
Qing-Yuan Cai,Ling-Shan Gao,Haihan Luo,Rui Cong,Dingquan Liu
标识
DOI：10.1364/oic.2019.fb.5
摘要
UV broadband antireflection film M2HL in 250~390 nm spectral range was prepared by ALD using HfO2 as H layer. Higher transmittance was acquired when HfO2-Al2O3 nano-laminate replaced of HfO2 in the AR coating.
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