Low Voltage a-IGZO Thin Film Transistor Using Tantalum Oxide by Thermal Oxidation

材料科学 热氧化 薄膜晶体管 氧化物 光电子学 晶体管 热的 电压 冶金 纳米技术 电气工程 图层(电子) 物理 工程类 气象学
作者
Eun Seong Yu,Seung Gyun Kim,Seo Jin Kang,Hyuk Su Lee,Jong Mo Lee,Seung-Jae Moon,Byung Seong Bae
出处
期刊:Electronic Materials Letters [Springer Nature]
卷期号:20 (2): 102-110 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s13391-023-00431-6
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