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Investigation of Indium-optimized IGZO TFT via Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Suitable for CMOS Backend of Line Integration

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作者
Meishan Zhang,Wenhui Wang,Jiqing Lu,Jun Lan,Haoran Peng,Jiamin Li,Feichi Zhou,Longyang Lin,Mei Shen,Yida Li
标识
DOI：10.7567/ssdm.2024.ps-10-10
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