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Surface engineering of Al2O3 dielectric layer for all-sputtered-oxide transparent and flexible a-IGZO thin film transistor

材料科学薄膜晶体管图层（电子）电介质晶体管光电子学氧化物氧化物薄膜晶体管薄膜工程物理纳米技术冶金电气工程工程类电压

作者

Tan Tan Bui,Kihyun Kim,Ji-Hoon Lee

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2024-08-13 卷期号：50 (21): 43763-43771 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2024.08.229

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