已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Improvement of β-SiC Synthesis Technology on Silicon Substrate

碳化硅 材料科学 基质(水族馆) 图层(电子) 化学工程 外延 纳米技术 晶体硅 光电子学 复合材料 海洋学 工程类 地质学
作者
Yana Suchikova,Сергій Ковачов,Ihor Bohdanov,Artem L. Kozlovskiy,Maxim V. Zdorovets,Anatoli I. Popov
出处
期刊:Technologies (Basel) [MDPI AG]
卷期号:11 (6): 152-152 被引量:2
标识
DOI:10.3390/technologies11060152
摘要

This article presents an enhanced method for synthesizing β-SiC on a silicon substrate, utilizing porous silicon as a buffer layer, followed by thermal carbide formation. This approach ensured strong adhesion of the SiC film to the substrate, facilitating the creation of a hybrid hetero-structure of SiC/por-Si/mono-Si. The surface morphology of the SiC film revealed islands measuring 2–6 μm in diameter, with detected micropores that were 70–80 nm in size. An XRD analysis confirmed the presence of spectra from crystalline silicon and crystalline silicon carbide in cubic symmetry. The observed shift in spectra to the low-frequency zone indicated the formation of nanostructures, correlating with our SEM analysis results. These research outcomes present prospects for the further utilization and optimization of β-SiC synthesis technology for electronic device development.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
damai发布了新的文献求助10
4秒前
kami完成签到 ,获得积分10
5秒前
7秒前
7t1n9发布了新的文献求助20
9秒前
梓泽丘墟应助玛琳卡迪马采纳,获得10
10秒前
10秒前
11秒前
MUSTer一一完成签到 ,获得积分10
11秒前
bobo发布了新的文献求助10
12秒前
小思发布了新的文献求助10
13秒前
开拖拉机的芍药完成签到 ,获得积分10
13秒前
13秒前
14秒前
饱满含玉发布了新的文献求助10
14秒前
lyle完成签到,获得积分10
16秒前
惟依发布了新的文献求助30
17秒前
17秒前
17秒前
damai完成签到,获得积分10
18秒前
饱满含玉完成签到,获得积分10
19秒前
王大壮发布了新的文献求助30
19秒前
xin完成签到,获得积分20
20秒前
随机子应助郎中不动武采纳,获得10
22秒前
Akim应助熬夜的鹰采纳,获得30
23秒前
小月完成签到,获得积分10
23秒前
syl完成签到 ,获得积分10
24秒前
惟依完成签到,获得积分10
25秒前
小妤丸子完成签到,获得积分10
28秒前
汉堡包应助小月采纳,获得10
28秒前
31秒前
Ysh2255发布了新的文献求助10
31秒前
科目三应助lvsehx采纳,获得30
32秒前
34秒前
毕登是我干掉的完成签到,获得积分10
34秒前
酷酷的匪发布了新的文献求助10
34秒前
rynchee完成签到 ,获得积分10
35秒前
37秒前
研友_VZG7GZ应助小思采纳,获得10
37秒前
闪闪夏菡发布了新的文献求助30
37秒前
熬夜的鹰发布了新的文献求助30
38秒前
高分求助中
Becoming: An Introduction to Jung's Concept of Individuation 600
Ore genesis in the Zambian Copperbelt with particular reference to the northern sector of the Chambishi basin 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 500
Die Gottesanbeterin: Mantis religiosa: 656 400
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3164662
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2815515
关于积分的说明 7909801
捐赠科研通 2475233
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1318022
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 631984
版权声明 602282