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Advances in machine learning and deep learning applications towards wafer map defect recognition and classification: a review

人工智能深度学习计算机科学机器学习卷积神经网络可扩展性数据预处理人工神经网络预处理器特征提取工程类模式识别（心理学）数据库

作者

Tongwha Kim,Kamran Behdinan

出处

期刊：Journal of Intelligent Manufacturing [Springer Nature]
日期：2022-08-23 卷期号：34 (8): 3215-3247 被引量：54

标识

DOI：10.1007/s10845-022-01994-1

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