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Carrier gas flow rate effects on additive-assisted low-temperature Y2O3 film deposition by atmospheric pressure plasma jet
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作者
Bat-Orgil Erdenezaya,
Md. Shahiduzzaman,
Hirochika Uratani,
Ruka Yazawa,
Yusuke Nakano,
Yasunori Tanaka,
Tetsuya Taima,
Tatsuo Ishijima
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-02-12
卷期号：191: 109365-109365
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109365
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