Effects of bias voltage on the microstructure and properties of AlCrN/AlTiN nanoscale multilayer coatings

微观结构 材料科学 纹理(宇宙学) 复合材料 偏压 表面光洁度 散裂 下降(电信) 电压 电气工程 人工智能 图像(数学) 物理 量子力学 计算机科学 中子 工程类
作者
Qixiang Fan,Minglu Guo,Zhenghuan Wu,Xuehui Hao,Fengting Cao,Yanmei Liu,Tie‐Gang Wang
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:215: 112327-112327 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2023.112327
摘要

Bias voltage has great influence on the microstructure and properties of multilayer coatings, but it is endowed less attentions compared with modulation periods. In this work, effects of bias voltage ranging from −120 V to −210 V on the microstructure and properties of the AlCrN/AlTiN multilayer coatings are investigated. Results show that the multilayer coatings possess fcc-(Al,Cr,Ti)N singular phase, and grow preferentially along the (111) plane, but the texture coefficient of the (111) plane drops greatly at −210 V. Surface roughness decreases firstly and then increases with the bias voltage. Conversely, the hardness increases gradually to the maximum value 33.0 GPa at −180 V, and then decreases to 26.4 GPa at −210 V caused by the texture variation and coarse structure. The adhesion strength decreases gradually with the bias voltage due to augmented residual stress. The friction coefficient and wear rate drop firstly and then increase at −210 V. Abrasion, oxidation and adhesion wear are primarily responsible for the failure of the coatings at mediate bias voltage, while spallation accelerates the failure of the coatings at −120 V and −210 V caused by their poor microstructure and mechanical property.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
爆米花应助ZhouTY采纳,获得10
刚刚
充电宝应助没烦有脑采纳,获得30
刚刚
天天快乐应助tejing1158采纳,获得10
1秒前
Lucas应助aoyo采纳,获得10
1秒前
zzz发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
Owen应助巴达天使采纳,获得10
3秒前
3秒前
3秒前
4秒前
joo完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
稀饭应助加点研采纳,获得10
5秒前
bkagyin应助哎呀采纳,获得10
5秒前
5秒前
5秒前
张半首发布了新的文献求助10
5秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
6秒前
lkk完成签到,获得积分10
6秒前
骨科完成签到,获得积分20
7秒前
7秒前
娜娜娜娜发布了新的文献求助10
7秒前
Jasper应助无小忧采纳,获得10
8秒前
英姑应助小乔采纳,获得10
8秒前
风中的丝袜完成签到,获得积分10
8秒前
药不起完成签到,获得积分10
8秒前
Gracie发布了新的文献求助10
8秒前
QQ发布了新的文献求助10
9秒前
liningyao发布了新的文献求助30
9秒前
流飞发布了新的文献求助10
9秒前
xiang完成签到,获得积分10
9秒前
坦率尔蝶完成签到 ,获得积分10
9秒前
李子发布了新的文献求助10
10秒前
青衣发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
MYFuture完成签到,获得积分10
11秒前
11秒前
温柔的钢铁侠完成签到,获得积分20
12秒前
12秒前
烟花应助一斤不是一吨采纳,获得10
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
《微型计算机》杂志2006年增刊 1600
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
NMR in Plants and Soils: New Developments in Time-domain NMR and Imaging 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4960108
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4220673
关于积分的说明 13143705
捐赠科研通 4004506
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2191463
邀请新用户注册赠送积分活动 1205692
关于科研通互助平台的介绍 1116915