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4H to 3C Polytypic Transformation in Al+ Implanted SiC During High Temperature Annealing

材料科学 成核 退火（玻璃） 外延 透射电子显微镜 化学气相沉积 结晶学 化学物理 纳米技术 复合材料 化学 有机化学 图层（电子）
作者
L. Kuebler,Eli Hershkovitz,D. Kouzminov,H.-J. Gossmann,Supakit Charnvanichborikarn,Christopher Hatem,Honggyu Kim,K. S. Jones
出处
期刊：Electronic Materials Letters [Springer Nature]
日期：2023-12-02 卷期号：20 (3): 345-351 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s13391-023-00473-w
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