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Direct wafer bonding of Ga2O3–SiC at room temperature

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作者
Yang Xu,Fengwen Mu,Yinghui Wang,Dapeng Chen,Xin Ou,Tadatomo Suga
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier]
日期：2018-11-28 卷期号：45 (5): 6552-6555 被引量：50
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2018.11.220
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